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覆層測厚儀的基本原理與測量方法
日期：2025-05-24 17:31
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摘要：
覆層測厚儀采用磁性法和渦流法的測厚儀向微型、智能、多功能、高精度、實用化發(fā)展。測量的分辨率已達(dá)0.1微米，精度可達(dá)到1%。它適用范圍廣，量程寬、操作簡便且價廉，是工業(yè)和科研使用*廣泛的測厚儀器。而且是無損測量，既不破壞覆層也不破壞基材，檢測速度快，能使大量的檢測工作經(jīng)濟(jì)地進(jìn)行。其基本原理是結(jié)構(gòu)由磁鋼，接力簧，標(biāo)尺及自停機(jī)構(gòu)組成。磁鋼與被測物吸合后，將測量簧在其后逐漸拉長，拉力逐漸增大。當(dāng)拉力剛好大于吸力，磁鋼脫離的一瞬間記錄下拉力的大小即可獲得覆層厚度。
覆層厚度的測量方法主要有：楔切法、光截法、電解法、厚度差測量法、稱重法、X射線熒光法、β射線反向散射法、電容法、磁性測量法及渦流測量法等。這些方法中前五種是有損檢測，測量手段繁瑣，速度慢，多適用于抽樣檢驗。
X射線和β射線法是無接觸無損測量，但裝置復(fù)雜昂貴，測量范圍較小。因有放射源，使用者必須遵守射線防護(hù)規(guī)范。X射線法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號大于3的鍍層測量。電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆層測厚時采用。
